VHS-250 Oil Diffusion Pump

Význam tématu

Výkonná vakuová technologie je klíčová v průmyslu i laboratořích pro dosažení velmi nízkých tlaků nezbytných pro tepelné úpravy, povlakové procesy a výrobu elektronických součástek.
Důraz na spolehlivost, údržbu a dlouhou životnost provozního média zajišťuje optimální chod zařízení.

Cíle a přehled studie

Cílem dokumentu je představit vlastnosti a provozní parametry difuzní pumpy VHS-250 od společnosti Agilent Technologies.
Shrnuje technické specifikace, výkonnostní charakteristiky a doporučené provozní podmínky.

Použitá metodika a instrumentace

Princip fungování je založen na difuzi vakuového oleje, finové kotle a patentované konstrukci Bulge Contour pro optimální zachycení plynů.
Hlavní zařízení:

• Difuzní pumpa VHS-250
• Předčerpávací rotační vývěva DS40M
• Chladicí celek s rychlým ochlazováním

Pro měření rychlosti čerpání a výkonnosti byly použity standardy AVS 4.1 a testovací prostředí s médiem DC704.

Hlavní výsledky a diskuse

Maximální rychlost čerpání činí 2125 L/s pro vzduch a až 2660 L/s pro lehčí plyny jako helium či vodík.
Pracovní rozsah se pohybuje od 1,2×10⁻³ Torr až pod 5×10⁻⁹ Torr.
Maximální průtok dosahuje 2,6 T-L/s v provozním režimu a zpětné proudění oleje zůstává pod 5×10⁻⁴ mg/cm²/min.
Diskuse se zaměřuje na optimalizaci předtlaku, spotřebu energie 2200 W a požadavky na chladicí vodu 0,25 gpm.

Přínosy a praktické využití metody

• Vysoká vakuová úroveň pro tepelnou úpravu v pecích
• Stabilita tlaku a nízké zpětné proudění oleje
• Snadná údržba díky nerezovému provedení a průhledu hladiny oleje
• Univerzální využití při metalizaci a povlakování optických, elektronických a ochranných vrstev

Budoucí trendy a možnosti využití

Využití pokročilých řídicích systémů pro automatizaci provozu difuzních pump.
Zavedení ekologičtějších kapalin s vyšší tepelnou odolností a delší životností.
Integrace s ultrasenzitivními vakuovými měřiči pro optimalizaci provozních parametrů v reálném čase.

Závěr

VHS-250 nabízí vysokou čerpací rychlost a spolehlivost v náročných průmyslových a výzkumných aplikacích.
Spojení patentovaných konstrukčních prvků, efektivního chlazení a snadné údržby z něj činí vhodné řešení pro široké spektrum vakuových procesů.

Reference

• Agilent Technologies Data Sheet VHS-250 Oil Diffusion Pump 2024