HS-20 Oil Diffusion Pump - Data Sheet

Význam tématu

Vysokovakuové difuzní pumpy, jako je model HS-20, jsou klíčové pro průmyslové procesy vyžadující hluboké vakua a vysokou propustnost plynů. Jejich spolehlivý provoz bez časté údržby zajišťuje konzistentní výkon v aplikacích od tepelného zpracování až po povrchové úpravy.

Cíle a přehled studie / článku

Cílem dokumentu je představit technické vlastnosti, provozní parametry a praktické využití difuzní pumpy HS-20. Přehled zahrnuje rozměry, výkonnostní grafy a varianty příslušenství pro různé provozní podmínky.

Použitá metodika a instrumentace

Metoda založená na olejové difuzi využívá optimalizované parní trysky a vysoce odolný kotel s integrovanými termostatickými spínači. Pumpa pracuje s vakuažním olejem DC-704 nebo ekvivalentem a vyžaduje podpůrný rotační čerpadlový systém (doporučená velikost ≥100 cfm).

Použitá instrumentace

• Difuzní pumpa Agilent HS-20
• Předčerpadlo DS202 (rotační lamelové)
• Chladicí kapénka (cold cap) nebo halo baffle
• Vakuažní olej DC-704
• Chladicí voda 1,5 gpm při 15–26 °C

Hlavní výsledky a diskuse

Pumpa dosahuje jmenovité rychlosti čerpaní 10 000 L/s pro vzduch a až 12 500 L/s pro lehké plyny (He, H₂). Provozní rozmezí je 1,3×10⁻³ až 5×10⁻⁸ Torr, s maximálním throughputem až 18 Torr·L/s při 0,01 Torr. Teplotní ochranné prvky zajišťují dlouhodobou spolehlivost bez servisních zásahů. Rychlost zpětného prosakování je nižší než 1,5×10⁻³ mg/cm²·min a doba zahřátí a vychlazení činí 45 respektive 85 minut.

Přínosy a praktické využití metody

• Stabilní hluboké vakuum pro vakuové pece a tepelná zpracování
• Kvalitní povrchové vrstvy při metalizaci a nanášení ochranných filmů
• Vakuové procesy v optickém průmyslu a elektronice
• Nízké nároky na údržbu díky robustní konstrukci

Budoucí trendy a možnosti využití

Vývoj vakuažních olejů s nižším zpětným prosakováním, integrace snímačů teploty a tlaku s průmyslovými síťovými protokoly a kombinace difuzních pump s turbomolekulárními systémy slibují další zvýšení účinnosti a monitorovatelnosti vakuových linek. Pokročilá automatizace a prediktivní údržba mohou dále snížit náklady na provoz.

Závěr

Pumpa HS-20 představuje vyvážené řešení pro aplikace vyžadující vysokou rychlost čerpaní a dlouhodobou bezúdržbovost. Díky svým parametrům a modulární konfiguraci se hodí pro široké spektrum průmyslových vakuažních procesů.

Reference

• Agilent Technologies: HS-20 Oil Diffusion Pump Data Sheet, vydáno 2023