Přehled aplikací Thermo Scientific pro analýzy stopových kontaminantů při výrobě a zpracování polovodičů

Kontrola procesních kroků a prostředí pro splnění každodenních výzev týkajících se rutinní kontroly výrobků vyžadují použití mnoha různých charakterizačních technik, včetně mnoha technik využívajících analytické přístroje. Seznamte se s výrobou polovodičů a s tím, jak vám analytické přístroje z oblasti iontové chromatografie Thermo Scientific mohou pomoci kontrolovat jednotlivé kroky procesu a analyzovat výrobní prostředí v průběhu celé výroby polovodičů, abyste zajistili dosažení nejvyšší možné výnosnosti.

Význam iontové chromatografie v polovodičovém průmyslu

Poptávka po polovodičových destičkách bude i nadále prudce růst s tím, jak poroste poptávka po mobilních zařízeních, cloud computingu, internetu věcí (IoT), samořízených automobilech, umělé inteligenci a dalších způsobech využití. Složitost procesů a náklady na výrobu polovodičů (FAB) jsou vysoké, a proto se pracovníci v tomto odvětví neustále snaží zvyšovat efektivitu výroby.

Iontová kontaminace je velkým problémem v procesech výroby polovodičů, v hotových zařízeních a ve spotřebním materiálu, jako jsou utěrky pro čisté prostory, vatové tampony, rukavice a přepravky, protože malé množství kontaminace (ppb až ppm) může způsobit korozi, erozi, elektromigraci a zkrat v zařízeních, na destičkách nebo v jednotlivých finálních elektronických součástkách.

Iontová chromatografie (IC) je účinná analytická technika, která dokáže rychle stanovit stopové i hlavní složky široké škály procesních kontaminantů v polovodičovém průmyslu. Tato technika poskytuje vhodný způsob kvantifikace běžných anorganických aniontů a kationtů, některých organických aditiv, přechodných kovů, polyvalentních iontů a organických chelatačních činidel. Díky online monitorovacímu procesu lze tak tyto složky stanovit rychle a ve velmi nízkých koncentracích, tak, aby bylo možné zahájit okamžité kroky k nápravě.

• Sbírka aplikací: Semiconductor workflows Trace contaminant analysis application compendium

Pragolab: Výroba a zpracování polovodičových součástek

1. Použití systému iontové chromatografie bez použití činidel ke sledování stopových koncetrací aniontů v extraktech z elektronických součástek

• Using a reagent-free ion chromatography system to monitor trace anion contamination in the extracts of electronic components

2. Stanovení stopových koncetrací aniontů v alkalických roztocích pomocí autoneutralizace a iontové chromatografie

• Determination of trace anions in basic solutions by single pass AutoNeutralization and ion chromatography

3. Stanovení stopových koncetrací aniontů v koncentrovaných kyselinách pomocí autoneutralizace a iontové chromatografie

• Determination of trace cations in concentrated acids using AutoNeutralization pretreatment and ion chromatography

Pragolab: Analytická řešení pro polovodičový průmysl

4. Stanovení přechodných kovů na úrovni ppt ve vysoce čisté vodě a SC2 (D-clean) lázních

• Determination of transition metals at ppt levels in high-purity water and SC2 (D-clean) baths

Atomy kovů a vodivé částice jsou nežádoucí a ve výrobních procesech polovodičů potenciálně škodlivé. Oxidační a velké objemy ultračisté oplachové vody se používají k odstraňování kovové kontaminace z povrchu destiček. Pro optimální účinnost čištění, by měla být koncentrace železa a dalších kovů v čisticích roztocích minimalizována.

Tato aplikační poznámka popisuje metodu pro stanovení nízkých ng/l množství přechodných kovů ve vysoce čisté vodě a v roztocích lázní pro polovodiče.

5. Stanovení stopových koncetrací aniontů ve vysoce čistých vodách pomocí přímého nástřiku velkých objemů vzorků

• Determination of trace anions in high purity waters using a large-volume direct injection

6. Stanovení křemičitanů ve vysoce čisté vodě pomocí iontové chromatografie a online přípravy vzorků

• Determination of silicate in high-purity water using ion chromatography and online sample preparation

Voda používaná při výrobě polovodičů a dalších moderních technologií musí být extrémně čistá. Výroba ultračisté vody (UHPW) zahrnuje deionizaci k odstranění korozivních aniontů silných kyselin, např. chloridů a síranů. Deionizační patrony ale postupně vyčerpávají svou kapacitu a vyžadují výměnu. Když tyto deionizační patrony začnou selhávat, je jedním z prvních iontů, které kontaminují vodu křemičitan.

7. Stanovení stopových množství boritanů ve vodách s vysokou čistotou

• Trace borate determination in
  high-purity waters

Boritan je jedním z nejslaběji zadržovaných aniontů na aniontově výměnných materiálech a jako první proniká mnoha systémy čištění vody. Sledování stopových množství bóru ve formě boritanu ve vodách s vysokou čistotou je měřítkem účinnosti systémů čištění vody.

8. Stanovení chloru, bromu a síry v polyethylenu pomocí spalovací iontové chromatografie

• Determination of chlorine, bromine, and sulfur in polyethylene materials using combustion ion chromatography

Polyethylen se hojně používá jako obalový materiál (plastové sáčky, plastové fólie, nádoby, kontejnery, včetně lahví atd.). Plastové materiály nejsou jen polymery. Sloučeniny obsahující halogeny a síru se často přidávají jako změkčovadla, zpomalovače hoření a tepelné stabilizátory. Vzhledem k rozsáhlému používání plastů/polymerů a jejich následnému dopadu na životní prostředí, je důležité znát obsah halogenů a síry při likvidaci nebo recyklaci polyethylenových materiálů.

9. Měření a kontrola měděných přísad v galvanických lázních s využitím vysokoúčinné kapalinové chromatografie

• Measurement and Control of Copper Additives in Electroplating Baths by High-Performance Liquid Chromatography

10. Řešení pro rutinní a komplexní analýzu vody

• Solution for routine and comprehensive water analysis

Pro jakékoliv informace nás neváhejte kontaktovat na [email protected].

Tým Pragolab s.r.o.